李新梅
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孙文磊
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憨勇
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刘炳
金属学报
采用电解液微弧碳氮化技术(PECN), 在纯钛试样表面沉积出较厚且与基体结合牢固的多孔纳米
Ti(CxN1-x)改性层, 研究了改性层结构和组成随PECN处理时间的演变规律. 结果表明: 随放电处理时间延
长, PECN--Ti(CxN1-x)膜层厚度、膜层中C/N的原子比以及微孔直径皆增加. 处理150 min时, Ti(CxN1-x)
膜层厚度可达15 um, 且膜层是由晶粒尺寸为40-60 nm的纳米晶粒组成. 处理过程中有氢渗入, 并在Ti(CxN1-x)
层下面形成富含TiH2的过渡层. 后期的真空退火处理可以将氢除去使TiH2完全分解, 而不影响表面Ti(CxN1-x)
膜的成分和形貌
关键词:
电解液微弧碳氮化
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titanium
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Ti(CxN1-x) films
